陶瓷金属化是在陶瓷表面涂覆钼,钨等难熔金属和其它氧化物粉末涂层,并在还原气氛中进行烧结,称为陶瓷金属化,为了改善焊料对金属化层的浸润性,通常还要在其表面再度上一层镍,并惊醒烧结,即二次金属化。通过两次金属化可以使陶瓷与金属达到有效的连接,这种方法已经广泛在集成电路、电力电容器、压电陶瓷,微电子行业和航空航天等领域得中应用。

EDX2000A.jpg

EDX2000A镀层测厚光谱仪,拥有独特的光路设计,近测试距离光斑扩散度10%,直径0.05mm的测试区域,搭配高精密的XY手动滑轨,精准定位测试样品,再加上配置高效正比例接收器,可以实现短时测试即可得到金属化Mo层以及二次金属化Ni层的可靠稳定的测试数据。

仪器简介

 

产品名称:X荧光镀层测厚仪

产品型号:EDX2000A

(1)外形尺寸:485(W)×588(D)×505(H)mm

     样品腔尺寸:430(W)×400(D)×140(H)mm

(2)重量  60kg

(3)X射线源:

     X射线管:    W靶材

     X射线管电压: 5——50KV,可调

     X射线管电流:  50uA——1mA,可调

     X射线管制冷: 密闭型风冷

(4)准直系统:     标配¢0.2mm(可根据要求选配,优化的微区分析性能和XRF光路结构,实现高技术率,微小样品,快速定性定量分析)

(5)滤光片:       Al滤光片(可根据要求选配,超高峰背比)

(6)X射线检测:  FSDD探测器(全市场市场配置,超高分辨率)

(7)样品观测配置

     样品照明: LED灯,上方垂直环绕照射

     观察:    彩色CCD变焦工业摄像头(配合深槽算法,实现凹槽,阶梯等异性样品测试)

     倍率:    15-25倍

     视野:    6 X 4.8mm

     变焦:    0-40mm

(8)Z轴调节:图像识别功能

              高度激光对焦

(9)电动XY高移动平台(实现鼠标点哪测哪里)

        样品台尺寸:  320(W)× 265(D)mm

        移动范围:    100mm(X) × 100mm(Y)

        分辨率:      5um

        重复定位:  <10um(精准定位)

        步进电机步距角: 1.8°

        载重量:         3 kg(无倾斜)

(10)Z轴升降平台:

       升降幅度范围:0—140mm(高端上照式仪器中超大行程)

(11)安全保护

      操作人员在未关高压的情况下打开屏蔽罩仪器会自动断高压,软件提醒,指示灯提醒等多重保护。

(12)数据采集

       4096道细分数据采集  (矩阵信号直观,简洁)

(13)X射线管工作情况监测系统

       软件画面显示当前的管压,管流,元素峰通道,记数率等。

 (14)  电源:

      电源输入:AC220±10%,5A,50/60HZ

 

2.2.1应用领域

l  金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量

l  金属表面阳极氧化等涂覆层厚度测试

l  电镀液成分测试合、金镀层成分及厚度分析

l  首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析和检测机构、电镀行业

2.2.2独特性能

l  上照式:可满足各种形状样品的测试需求(晶圆,芯片等高端行业必备,对测试面洁净度要求高)

l  高分辨率探头:提高分析的准确性,FSDD高达129eV

l  安全性:新一代光管良好的屏蔽作用,X射线的辐射基本为0;仪器上盖的测试自锁和高压电源紧急锁功能,形成了对操作者的全方位防护

l  测试组件可升降,激光测距系统,满足不同高度样品的非接触式测试          

l  高移动平台,支持智能定位测试,多点测试和网格测试模式

l  超小准直器

l  可视化操作

l  智能的Fp测试软件,不需要标准样品,即可以实现多种制程的准确测试

l  相互独立的基体效应校正模型

l  一键测试按钮

l  鼠标定位测试点

l  超大样品腔设计

l  测试口安全防护

l  智能防撞系统

2.2.3技术指标

l  元素分析范围从铝(Al)到铀(U)

l  可同时分析多24个元素,5层镀层

l  仪器检出限:0.005um

l  镀层厚镀范围:0.005um—50um

l  多次测量重复性可达2%

l  长期工作稳定度为3%

 

部件及功能

 

1、翻盖  2、样品盖把手  3、高压指示灯 

4、视窗  5、电源开关 6、电源插口  7、USB接口  8、网口