陶瓷金属化是在陶瓷表面涂覆钼,钨等难熔金属和其它氧化物粉末涂层,并在还原气氛中进行烧结,称为陶瓷金属化,为了改善焊料对金属化层的浸润性,通常还要在其表面再度上一层镍,并惊醒烧结,即二次金属化。通过两次金属化可以使陶瓷与金属达到有效的连接,这种方法已经广泛在集成电路、电力电容器、压电陶瓷,微电子行业和航空航天等领域得中应用。
EDX2000A镀层测厚光谱仪,拥有独特的光路设计,近测试距离光斑扩散度10%,直径0.05mm的测试区域,搭配高精密的XY手动滑轨,精准定位测试样品,再加上配置高效正比例接收器,可以实现短时测试即可得到金属化Mo层以及二次金属化Ni层的可靠稳定的测试数据。
仪器简介
产品名称:X荧光镀层测厚仪
产品型号:EDX2000A
(1)外形尺寸:485(W)×588(D)×505(H)mm
样品腔尺寸:430(W)×400(D)×140(H)mm
(2)重量 60kg
(3)X射线源:
X射线管: W靶材
X射线管电压: 5——50KV,可调
X射线管电流: 50uA——1mA,可调
X射线管制冷: 密闭型风冷
(4)准直系统: 标配¢0.2mm(可根据要求选配,优化的微区分析性能和XRF光路结构,实现高技术率,微小样品,快速定性定量分析)
(5)滤光片: Al滤光片(可根据要求选配,超高峰背比)
(6)X射线检测: FSDD探测器(全市场市场配置,超高分辨率)
(7)样品观测配置
样品照明: LED灯,上方垂直环绕照射
观察: 彩色CCD变焦工业摄像头(配合深槽算法,实现凹槽,阶梯等异性样品测试)
倍率: 15-25倍
视野: 6 X 4.8mm
变焦: 0-40mm
(8)Z轴调节:图像识别功能
高度激光对焦
(9)电动XY高移动平台(实现鼠标点哪测哪里)
样品台尺寸: 320(W)× 265(D)mm
移动范围: 100mm(X) × 100mm(Y)
分辨率: 5um
重复定位: <10um(精准定位)
步进电机步距角: 1.8°
载重量: 3 kg(无倾斜)
(10)Z轴升降平台:
升降幅度范围:0—140mm(高端上照式仪器中超大行程)
(11)安全保护
操作人员在未关高压的情况下打开屏蔽罩仪器会自动断高压,软件提醒,指示灯提醒等多重保护。
(12)数据采集
4096道细分数据采集 (矩阵信号直观,简洁)
(13)X射线管工作情况监测系统
软件画面显示当前的管压,管流,元素峰通道,记数率等。
(14) 电源:
电源输入:AC220±10%,5A,50/60HZ
2.2.1应用领域
l 金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量
l 金属表面阳极氧化等涂覆层厚度测试
l 电镀液成分测试合、金镀层成分及厚度分析
l 首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析和检测机构、电镀行业
2.2.2独特性能
l 上照式:可满足各种形状样品的测试需求(晶圆,芯片等高端行业必备,对测试面洁净度要求高)
l 高分辨率探头:提高分析的准确性,FSDD高达129eV
l 安全性:新一代光管良好的屏蔽作用,X射线的辐射基本为0;仪器上盖的测试自锁和高压电源紧急锁功能,形成了对操作者的全方位防护
l 测试组件可升降,激光测距系统,满足不同高度样品的非接触式测试
l 高移动平台,支持智能定位测试,多点测试和网格测试模式
l 超小准直器
l 可视化操作
l 智能的Fp测试软件,不需要标准样品,即可以实现多种制程的准确测试
l 相互独立的基体效应校正模型
l 一键测试按钮
l 鼠标定位测试点
l 超大样品腔设计
l 测试口安全防护
l 智能防撞系统
2.2.3技术指标
l 元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
l 可同时分析多24个元素,5层镀层
l 仪器检出限:0.005um
l 镀层厚镀范围:0.005um—50um
l 多次测量重复性可达2%
l 长期工作稳定度为3%
部件及功能
1、翻盖 2、样品盖把手 3、高压指示灯
4、视窗 5、电源开关 6、电源插口 7、USB接口 8、网口