ICP光谱仪分析完毕后，如果试液为无机水溶液，分别用硝酸溶液（5±95）和去离子水冲洗光谱分析仪的进样系统（5~10）min；如果试液为有机溶液，则用煤油等有机溶液进行清洗（5~10）min。单击“熄火”图标，熄火等离子体。
为延长光谱分析仪蠕动泵管的使用寿命，将泵管从蠕动泵上放松并将蠕动泵夹松开；关闭抽风机电源，将进样毛细管或者自动进样器的取出，以免虹吸收应使雾室积水。确保排废液管牢固地链接在雾室的下方，废液缓慢而均匀地从蠕动泵排除。保持排废液管的干净。在必要时倒掉废液桶中的废液：关闭循环水；关闭气源（CID检测器不能马上关闭气源）；检测雾化器及排废液管与雾室链接处是否有渗漏，检查雾室内是否积污物。检查雾室上的O形圈是否有滑脱、破损、失去弹性等现象。
检查光谱分析仪蠕动泵的滚柱是否光滑，有无划痕，有无样品玷污，滚动能否自由无障碍。如果必要则拆下泵头进行清洗，需要时更换。观察光谱分析仪废液是否稳定地排出，如果没有则调节泵管的松紧程度。检查雾室与排废液管的接头以及排废液管，必要时进行更换。
若循环水冷却系统具有单独的开关，关闭循环水冷却系统和空气压缩机。只有检测器温度达到±15°C或更高温度时，才可以关闭氩气。若循环水和检测器冷却系统没有单独的开关。关闭光谱仪的主电源，待60min后，才可以关闭氩气。推出分析软件系统，依次关闭计算机、显示器、打印机、主机电源和稳压电源。检查实验室的水、电、气，填写好仪器使用记录。
注意：如果是光谱分析仪CID检测器，在处于冷却状态时，关闭或没有打开吹扫气体，可能会使CID检测器结霜，对其造成不可挽回的损坏。夏天遇雷雨天气提前关掉光谱分析仪，防止雷击。
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